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申请/专利权人：国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司
摘要：本发明提供一种用于有机电致发光元件的基质材料均匀检测方法，属于材料检测技术领域，包括对待检测有机电致发光元件的基质材料进行扫描确定第一结果；基于待检测有机电致发光元件的基质材料的尺寸确定第一分区，基于第一分区、第一结果分别确定第二分区、第三分区；基于第三分区对有机电致发光元件的基质材料的进行检测确定第二结果；基于第一结果、第二结果生成待检测有机电致发光元件的基质材料的检测报告。可以对有机电致发光元件的基质材料进行合理、精准的区域划分，提升检测精度和检测全面性，提升检测结果在厚度、表面平整度、光学透明度和电学性能方面的准确性，提高有机电致发光元件的质量和可靠性。
主权项：1.一种用于有机电致发光元件的基质材料均匀检测方法，其特征在于，包括：101：对待检测有机电致发光元件的基质材料进行扫描确定第一结果；102：基于待检测有机电致发光元件的基质材料的尺寸确定第一分区，基于第一分区、第一结果分别确定第二分区、第三分区；103：基于第三分区对有机电致发光元件的基质材料的进行检测确定第二结果；104：基于第一结果、第二结果生成待检测有机电致发光元件的基质材料的检测报告；其中，对待检测有机电致发光元件的基质材料进行扫描确定第一结果，包括：将清洗后的待检测有机电致发光元件的基质材料放置在原子力显微镜检测台，并设置检测模式、第一检测参数；调整并启动AFM探针，逐步扫描待检测有机电致发光元件的基质材料表面，确定第一扫描结果；基于待检测有机电致发光元件的基质材料选取第一区域，调整第一检测参数，将探针定位在第一区域进行局部扫描，记录第一区域内所有位置的表面高度数据确定第二扫描结果；基于第一扫描结果以及第二扫描结果生成待检测有机电致发光元件的基质材料的表面形貌图；选取表面形貌图中心位置的高度作为参考高度，计算表面形貌图中除中心位置外每个位置的高度与参考高度的差，确定表面形貌图所有位置的厚度值，生成厚度分布图；分析表面形貌图计算待检测有机电致发光元件的基质材料的所有位置的粗糙值，生成粗糙分布图；基于表面形貌图、厚度分布图以及粗糙分布图确定第一结果。
全文数据：
权利要求：
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