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申请/专利权人：重庆原石智能装备有限公司
摘要：本发明公开了一种SiC单晶生长炉真空尾气系统控制方法，抽真空时，只在抽真空开始一段时间和结束前一段时间打开角阀，其余时间关闭角阀；通过打开角阀，使真空计与石英腔室连通并检测石英腔室压力，基于真空计检测到的压力控制真空气路是否开启。在手动模式下，设置角阀自动开闭压力，薄膜规压力小于该压力时，自动打开角阀；大于该压力时，自动关闭角阀。本发明在满足生长工艺使用的同时，大大减小了设备器件受污染的可能性，提高其使用寿命，同时还能规避人为误操作的风险，提高设备真空尾气系统使用的可控性和便捷性。
主权项：1.一种SiC单晶生长炉真空尾气系统控制方法，其特征在于：抽真空时，只在抽真空开始一段时间和结束前一段时间打开角阀，其余时间关闭角阀；通过打开角阀，使真空计与石英腔室连通并检测石英腔室压力，基于真空计检测到的压力控制真空气路是否开启。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆原石智能装备有限公司 一种SiC单晶生长炉真空尾气系统控制方法
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