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申请/专利权人：清华大学
摘要：本发明公开了一种微型电子显微成像系统，包括电子光学组件、探测器和样品区；电子光学组件和探测器集成在一个或多个基片上，该基片为硅片或芯片，样品区用于放置样品，以使微型电子显微成像系统能实现对样品的成像与分析。本发明尺寸小，生产成本与运维成本低，能够降低维持的真空体积，减轻使用的外围环境要求。
主权项：1.一种微型电子显微成像系统，其特征在于，所述微型电子显微成像系统包括电子光学组件、探测器和样品区；所述电子光学组件和所述探测器集成在一个或多个基片上，所述基片为硅片或芯片，所述样品区用于放置样品，以使所述微型电子显微成像系统能实现对样品的成像与分析。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 微型电子显微成像系统
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