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申请/专利权人：环球晶圆股份有限公司
摘要：本发明提出一种晶圆夹持治具及晶棒固定治具。晶圆夹持治具包括一基座、一卡合件以及一承接座。基座包括一通过孔。且一排气孔位于基座。卡合件可运动地设置于基座的上方。承接座可运动地设置于基座内或是下方且对应于通过孔。
主权项：1.一种晶圆夹持治具，包括：一基座，包括一通过孔；一卡合件，可运动地设置于该基座的上方；以及一承接座，可运动地设置于该基座内或是下方且对应于该通过孔；其中，一第一晶圆适于被夹持于该基座与该卡合件之间，以被切割为一第二晶圆，该第一晶圆具有第一尺寸，该第二晶圆具有第二尺寸，该通过孔的尺寸大于该第二晶圆的该第二尺寸，且一排气孔位于该基座。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 环球晶圆股份有限公司 晶圆夹持治具及晶棒固定治具
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