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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，该基板处理装置具备形成有狭缝状的吐出口的喷嘴块及控制部。控制部控制X方向驱动部及Z方向驱动部，由此在喷嘴块与基板之间的间隙充满有处理液的状态下，使喷嘴块在基板上移动。此时，在基板上涂布处理液。然后，通过使喷嘴块从基板分离，形成将喷嘴块和基板相连的液柱。使喷嘴块移动，以使液柱从与存在于吐出口的内部的处理液相接的液接触状态转移到与存在于吐出口的内部的处理液不相接的液非接触状态。
主权项：1.一种基板处理装置，其在至少一部分具有圆形状的外周部的基板的上表面形成处理液的膜，其特征在于，具备：基板保持部，其保持所述基板；喷嘴，其具有形成有沿一方向延伸的狭缝状的吐出口的喷嘴前端部；移动部，其使所述基板及所述喷嘴中的至少一方相对于另一方沿与所述吐出口的长边方向交叉的短边方向相对地移动；以及控制部，其控制所述移动部，所述控制部使所述移动部进行第一移动动作和第二移动动作，所述第一移动动作是，在所述喷嘴前端部与所述基板之间形成预定间隔以下的间隙且在所述间隙充满有处理液的状态下，一边从所述吐出口向所述基板的所述上表面上供给处理液，一边使所述基板及所述喷嘴沿所述短边方向相对地移动，所述第二移动动作是，在所述第一移动动作之后，使所述基板及所述喷嘴进一步沿所述短边方向相对地移动，以使将存在于所述基板的所述上表面上的处理液和附着于所述喷嘴前端部的外表面的处理液相连的液柱从与存在于所述吐出口的内部的处理液相接的液接触状态转移到与存在于所述吐出口的内部的处理液不相接的液非接触状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置及基板处理方法
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