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申请/专利权人：测量专业股份有限公司
摘要：一种力传感器设备10，包括由两个结合在一起的硅构件14和16形成的传感器管芯12。第一构件14包括第一膜片24和在第一膜下方的由第二构件16中的凹入部分26形成的掩埋腔27。第二构件包括第二膜片44，其由第二构件的形成背面腔36的下表面的凹入部分32形成。第一膜片24和第二膜片44彼此竖直对准。第一构件包括第一组电感测元件48，其定位在第一膜片24附近，第二组电感测元件54定位在第二膜片44附近。电触点58沿传感器管芯的表面设置，以促进与外部设备的电连接。
主权项：1.一种传感器设备10，包括：传感器管芯12，包括：第一膜片24，其设置在传感器管芯的第一外表面与传感器管芯中的掩埋腔27之间，该掩埋腔27从所述外表面延伸一深度；其中，所述第一膜片配置为响应于施加在其上的外力而偏弯，第二膜片44，其设置在所述掩埋腔27和传感器管芯的与第一外表面相背的第二外表面的凹入部分32之间，其中，所述第二膜片配置为响应于施加在第一膜片上的超过特定力大小的外力而偏弯；和电感测元件48和54，其设置在传感器管芯内，用于测量第一和第二膜片的运动，其中，传感器管芯12包括附接在一起的第一构件14和第二构件16，其中，掩埋腔27形成在第一构件和第二构件之间，并且，第一膜片24与第一构件是一体的，第二膜片与第二构件是一体的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 测量专业股份有限公司 具有多范围构造的传感器组件
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