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一种用于钟罩炉的过滤装置及方法 

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申请/专利权人:莱芜成威电子材料有限公司

摘要:本发明涉及钟罩炉的技术领域,尤其是涉及一种用于钟罩炉的过滤装置及方法。本发明包括进气过滤系统、密封装置和出气过滤系统,所述进气过滤系统和出气过滤系统分别通过密封管道连接钟罩炉的进气端和出气端,所述进气过滤系统包括进气总线过滤系统和进气分级过滤系统,所述进气总线过滤系统一端连接进气泵和进气箱,另一端连接多个进气分级过滤系统,每一个所述进气分级过滤系统分别连接一个钟罩炉,所述出气过滤系统包括出气总线过滤系统和出气分级过滤系统,每一个所述出气分级过滤系统分别连接一个钟罩炉。通过总线及分级的形式,将相同的处理步骤进行合并,有利于对钟罩炉的整体控制过滤质量,方便对过滤设备的监管和维修。

主权项:1.一种用于钟罩炉的过滤装置,其特征在于:包括进气过滤系统(1)、密封装置(2)和出气过滤系统(3),所述进气过滤系统(1)和出气过滤系统(3)分别通过密封管道连接钟罩炉(10)的进气端和出气端,所述密封装置(2)设置在钟罩炉(10)内部并与钟罩炉(10)的进气端和出气端连通;所述进气过滤系统(1)包括进气总线过滤系统(11)和进气分级过滤系统(12),所述进气总线过滤系统(11)一端连接进气泵(111)和进气箱(112),另一端连接多个进气分级过滤系统(12),每一个所述进气分级过滤系统(12)分别连接一个钟罩炉(10);所述出气过滤系统(3)包括出气总线过滤系统(31)和出气分级过滤系统(32),所述出气总线过滤系统(31)一端连接出气箱(311),另一端连接多个出气分级过滤系统(32),每一个所述出气分级过滤系统(32)分别连接一个钟罩炉(10);所述进气总线过滤系统(11)包括进气总线过滤器(113)和进气总线管(114),多种所述进气总线过滤器(113)通过进气总线管(114)串联连接,所述出气总线过滤系统(31)包括出气总线过滤器(312)和出气总线管(313),多种所述出气总线过滤器(312)通过出气总线管(313)串联连接;所述进气分级过滤系统(12)包括进气分级过滤器(121)和进气分级管(122),多种和多个所述进气分级过滤器(121)通过进气分级管(122)相互串联连接或并联连接,所述出气分级过滤系统(32)包括出气分级过滤器(321)和出气分级管(322),多种和多个所述出气分级过滤器(321)通过出气分级管(322)相互串联连接或并联连接;还包括进气加热系统(13)和出气冷却系统(33),所述进气加热系统(13)包括加热器(131)和辅热装置(132),所述辅热装置(132)通过加热循环管(133)与加热器(131)连接,所述加热循环管(133)内填充有导热剂,所述辅热装置(132)包裹在进气分级管(122)上,所述出气冷却系统(33)包括冷却器(331)和换热装置(332),所述换热装置(332)通过冷却循环管(333)与冷却器(331)连接,所述冷却循环管(333)内填充有冷却剂;所述进气加热系统(13)和出气冷却系统(33)通过热量回收系统(34)相互连接,所述进气分级管(122)和出气分级管(322)内设置有温度感应系统(341);所述热量回收系统(34)内的热气管和冷气管内均设置有温度感应系统(341);所述加热器(131)和冷却器(331)均连接有温度调节系统(35);每一个所述辅热装置(132)均包含有导热剂流量调节系统(134)。

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