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申请/专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司

摘要：本发明公开一种硅加工擦拭装置，包括壳体、无尘布夹紧组件、无尘布按压组件、第一动力组件和第二动力组件，壳体的底部设置压力传感器，无尘布夹紧组件安装在壳体上通过第一动力组件驱动后将无尘布的第一端夹紧，无尘布按压组件安装在壳体上通过第二动力组件将无尘布压紧在擦拭目标处，通过无尘布夹紧组件将无尘布夹紧后再沿着擦拭目标面拉拽移动、以及无尘布按压组件将无尘布以合适的压力与擦拭目标面接触进行擦拭实现机械化，使得擦拭效率提高，在擦拭过程中通过压力传感器达到预设的压力和擦拭目标面接触，实现了对擦拭目标进行擦拭后使擦拭端面的洁净度达到一致的目的。本发明还公开一种清洁吸盘吸附端面的擦拭系统。

主权项：1.一种硅加工擦拭装置，其特征在于：包括壳体、无尘布夹紧组件、无尘布按压组件、第一动力组件和第二动力组件，壳体的顶部设置连接部，无尘布按压组件的底部设置压力传感器，第一动力组件安装在壳体上与无尘布夹紧组件连接，无尘布夹紧组件安装在壳体上通过第一动力组件驱动后将无尘布的第一端夹紧，第二动力组件安装在壳体上与无尘布按压组件连接，无尘布按压组件安装在壳体上通过第二动力组件将无尘布压紧在擦拭目标处，通过无尘布夹紧组件将无尘布夹紧后再沿着擦拭目标面拉拽移动、以及无尘布按压组件将无尘布以合适的压力与擦拭目标面接触进行擦拭；无尘布夹紧组件包括第一偏心夹紧组件和第二偏心夹紧组件，第一偏心夹紧组件和第二偏心夹紧组件均安装在壳体内，第一偏心夹紧组件包括第一齿轮和第一夹持件，第一齿轮和第一动力组件的动力输出端相连接传输动力，第二偏心夹紧组件包括第二齿轮和第二夹持件，第二齿轮和第一齿轮相啮合形成动力传递，第一动力组件驱动第一齿轮转动使第一齿轮带动第二齿轮同时转动，第一齿轮带动第二齿轮同时转动使第一夹持件和第二夹持件相互靠近形成夹持状态将无尘布夹持固定，第一动力组件驱动第一齿轮工作并带动第二齿轮同时运转使第一夹持件和第二夹持件由相互靠近形成夹持状态到相互远离形成释放状态便于将无尘布取出；第一动力组件为伺服电机或步进电机，第一动力组件的动力输出端为伺服电机的输出轴或步进电机的输出轴，无尘布夹紧组件还包括固定件，固定件安装在壳体内，固定件上设置第一固定孔和第二固定孔；第一偏心夹紧组件还包括第一转动件和第一传动轴，第一转动件上设置第三固定孔和第一驱动杆，第一驱动杆的轴线和第三固定孔的轴线相平行，第一传动轴安装在第一固定孔中，第一齿轮和第一转动件分别安装在第一传动轴的两端，第一齿轮和第一转动件位于固定件的两侧，第一齿轮和第一动力组件的输出端相连接，第一夹持件的第一端设置第一插销孔，第一驱动杆插入至第一插销孔中；第二偏心夹紧组件还包括第二转动件和第二传动轴，第二转动件上设置第四固定孔和第二驱动杆，第二驱动杆的轴线和第四固定孔的轴线相平行，第二传动轴安装在第二固定孔中，第二齿轮和第二转动件分别安装在第二传动轴的两端，第二齿轮和第二转动件位于固定件的两侧，第二夹持件的第一端设置第三插销孔，第二驱动杆插入至第三插销孔中；无尘布夹持组件还包括第一导轨和第一滑动件，第一导轨安装在壳体内，第一滑动件安装在第一导轨上，第一滑动件的下端朝下延伸形成竖向的引导杆，第一夹持件的第二端设置第二插销孔，第一插销孔的轴线和第二插销孔的轴线相互垂直，第二插销孔套置在引导杆上，第二夹持件的第二端设置第四插销孔，第四插销孔套置在引导杆上。

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