龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明涉及板以及镀敷装置。提高板的各部的气孔率的精度和或者气孔率的调整的自由度。一种板，在镀敷槽中配置于基板与阳极之间，上述板具备：形成有多个孔的孔形成区域，上述孔形成区域具有：中心部和处于中心部外侧的中间部、处于中间部外侧的外周部，上述孔形成区域的中心部和外周部具有多个长孔，上述孔形成区域的上述中间部具有多个圆形的孔。
主权项：1.一种板，在镀敷槽中配置于基板与阳极之间，所述板的特征在于，具备：形成有多个孔的孔形成区域，所述孔形成区域具有：中心部、处于中心部的外侧的中间部、处于中间部的外侧的外周部，所述孔形成区域的中心部、中间部、以及外周部分别具有基于基板与板的距离的目标气孔率，所述孔形成区域的外周部具有多个长孔，孔的分布密度亦即气孔率在所述外周部和其他部分不同，使所述外周部的所述气孔率比其他部分的所述气孔率大，所述中心部和所述中间部的气孔率相等。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号