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超声换能器阵列架构和制造方法 

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申请/专利权人:通用电气精准医疗有限责任公司

摘要:本发明题为“超声换能器阵列架构和制造方法”。本发明公开一种超声换能器阵列架构和制造方法。该方法包括提供包括多个模块的超声换能器,每个模块包括超声换能器阵列和专用集成电路ASIC,该超声换能器阵列和ASIC电耦接到柔性互连器,该柔性互连器耦接到连接器。该ASIC和柔性互连器可被布置成使得每个超声换能器阵列与另一个超声换能器阵列直接相邻。可将ASIC电耦接到柔性互连器,并且可通过重新分布层将ASIC电耦接到换能器阵列。多个模块中的每一个模块可为超声换能器阵列在RDL上且RDL在ASIC上的叠堆,其中柔性互连器从ASIC的顶表面横向延伸并且向下弯曲到ASIC的底表面。

主权项:1.一种方法,包括:提供包括多个模块200,410,600的超声换能器106,108,400,500,每个模块包括超声换能器阵列201,401,601、柔性互连器207,407,507,607、连接器209,409,509,609和专用集成电路ASIC205,405,505,605,所述ASIC的顶表面在第一互连器端处电耦接到所述柔性互连器,所述柔性互连器从所述ASIC的所述顶表面横向延伸并且围绕所述ASIC的第一横向侧弯曲到第二互连器端,所述第二互连器端垂直地位于所述ASIC的底表面正下方并且在所述ASIC的所述第一横向侧与第二横向侧之间,所述柔性互连器在所述ASIC的所述底表面下方耦接到所述连接器,其中:所述ASIC的占有面积小于所述超声换能器的占有面积,并且所述ASIC和所述柔性互连器被布置成使得每个模块的所述超声换能器阵列与所述多个模块中的另一个模块的另一个超声换能器阵列直接相邻。

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