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真空传动旋转装置以及超高真空系统 

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申请/专利权人:北京分量科技有限公司

摘要:本申请涉及一种真空传动旋转装置以及超高真空系统,装置壳体包括真空单元部和大气单元部,真空单元部和大气单元部相连,真空单元部开设有真空装配腔室,大气单元部开设有大气装配腔室,真空装配腔室的腔室出口与大气装配腔室的腔室出口朝向相背设置,第一转动组件活动装配在真空装配腔室,第一转动组件包括第一转动器件和第一磁力器件,第一磁力器件与第一转动器件相连,第二转动组件活动装配在大气装配腔室,第二转动组件包括第二转动器件和第二磁力器件,第二磁力器件与第二转动器件相连,第一磁力器件与第二磁力器件相互磁力驱动配合。上述传动方式可有效提高磁传动的旋转精度和精密程度,操作简单,体积小巧,便于组装和安装,制作成本低。

主权项:1.一种真空传动旋转装置,其特征在于,所述真空传动旋转装置包括:装置壳体,所述装置壳体包括真空单元部和大气单元部,所述真空单元部和所述大气单元部相连,所述真空单元部开设有真空装配腔室,所述大气单元部开设有大气装配腔室,所述真空装配腔室的腔室出口与所述大气装配腔室的腔室出口朝向相背设置;第一转动组件,所述第一转动组件活动装配在所述真空装配腔室,所述第一转动组件包括第一转动器件和第一磁力器件,所述第一磁力器件与所述第一转动器件相连;第二转动组件,所述第二转动组件活动装配在所述大气装配腔室,所述第二转动组件包括第二转动器件和第二磁力器件,所述第二磁力器件与所述第二转动器件相连,所述第一磁力器件与所述第二磁力器件相互磁力驱动配合。

全文数据:

权利要求:

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