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在低温光学腔内用于光电流测试的共聚焦显微成像装置 

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申请/专利权人:南京大学

摘要:本发明公开了一种在低温光学腔内用于光电流测试的微型共聚焦显微成像装置,该微型共聚焦显微成像装置中的凸透镜固定在低温光学腔中的热屏蔽罩上,结合低温光学腔外部的共聚焦成像光路,能够对低温环境下的微纳尺寸样品进行高分辨率显微成像,实现对不同样品类型进行原位光学、电学和光电流测试。本发明采用微型化设计,适应低温光学腔内的狭小空间,符合低温环境下的工作要求,稳定可靠,方便安装和实验操作,解决了在低温环境下对微小样品进行高分辨率成像和光电性能测试的难题,具有广阔的应用前景和市场潜力。

主权项:1.一种在低温光学腔内用于光电流测试的微型共聚焦显微成像装置,其特征在于,包括主光路模块、成像模块和电信号测量模块;所述主光路模块包括入射激光(1)、长波通二向色镜分束镜A(2)、低温光学腔(3);所述低温光学腔(3)内设置有热屏蔽罩(4),热屏蔽罩(4)内设置有样品座(5),在热屏蔽罩(4)的光学观察孔(3-1)的位置上设置有凸透镜(6);所述成像模块包括成像光源(7)、分束镜B(8)、长焦距凸透镜(9)和CCD相机(10);所述电信号测量模块包括锁相放大器(11)和数据采集系统;入射激光(1)经过长波通二向色镜分束镜A(2)射进低温光学腔(3),经过凸透镜(6),聚焦照射在样品座(5)上;成像光源(7)经过分束镜B(8)反射后由长焦距凸透镜(9)变换为平行光,再经过长波通二向色镜分束镜A(2)反射后照射进低温光学腔(3),经过凸透镜(6),汇聚照射在样品座(5)上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 南京大学 在低温光学腔内用于光电流测试的共聚焦显微成像装置

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