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申请/专利权人：云南通威高纯晶硅有限公司
摘要：本发明提供了回收多晶硅放空废气中氢气氮气的方法及系统，涉及多晶硅技术领域。回收多晶硅放空废气中氢气氮气的方法包括如下步骤：废气过滤；深冷及吸附去除氯硅烷及氯化氢；气膜分离；对渗透气进行PSA吸附，对非渗透气进行纯化；非渗透气脱氢、气水分离、干燥；通过精馏塔提纯氮气。回收多晶硅放空废气中氢气氮气的系统包括顺次连通的废气过滤装置、深冷装置、吸附装置、气膜分离装置，气膜分离装置输出的渗透气、非渗透气分别进入变压吸附装置、氮气纯化装置，氮气纯化装置包括顺次连通的脱氢器、冷却冷凝器、气水分离器、干燥组件、过滤组件、氮气储罐及提纯组件。本发明将氢气和氮气回收利用，避免直接排放造成浪费。
主权项：1.回收多晶硅放空废气中氢气氮气的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1.含尘废气经过过滤，去除固体硅粉后，与无尘废气混合为混合气；S2.混合气进行加压后，经循环水、-70℃二氯甲烷深冷后，除去混合气中的氯硅烷；S3.混合气去废气吸附柱进行吸附，去除未被深冷的氯化氢和氯硅烷后成为放空气；S4.将放空气加压后进行气膜分离，气膜分离后，渗透气为氢气，非渗透气为氮气；S5.通过PSA吸附渗透气中少量的氮气实现氢气提纯，去除非渗透气中少量的氢气实现氮气纯化；S6.非渗透气通过脱氢催化剂使氮气中的氢气与过量氧气发生反应生成水，将气态水冷凝为液态水，经过气水分离和干燥器干燥，充分除去水分得到干燥的氮气和未反应剩下的残氧，然后经过滤后进行储存；S7.氮气及残氧经换热后冷却到饱和温度，然后在精馏塔进行精馏，精馏塔塔顶得到高纯度氮气；其中，所述步骤S3中，放空气中氯化氢达到30ppm以下，氯硅烷总量达到30ppm以下；所述步骤S5中，将渗透气加压至0.9Mpa后进行PSA吸附。
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权利要求：
百度查询： 云南通威高纯晶硅有限公司 回收多晶硅放空废气中氢气氮气的方法及系统
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