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申请/专利权人：卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

摘要：一种多束带电粒子显微镜1，包含：至少一个第一聚束式光栅扫描仪110，用于在多个J个图像子场31.mn上方聚束式扫描多个J个一次带电粒子小射束3；检测单元200，包含检测器，用于检测多个J个二次电子小射束9，每一个二次电子小射束对应于J个图像子场31.mn中的一个；以及控制器800、820，其包含：扫描控制单元930，其连接到该第一聚束式光栅扫描仪110，并配置为在使用期间控制使用该第一聚束式光栅扫描仪110的多个J个一次带电粒子小射束3的光栅扫描操作；内核产生单元812，其配置为在使用期间产生用于图像子场31.mn的空间变化失真校正的空间变化滤波器内核910；以及图像数据采集单元810，其操作与该检测器、该扫描控制单元930和该内核产生单元的操作同步，其中该图像数据采集单元110对于所述J个图像子场中每一者包含：模拟对数字转换器811，用于在使用期间将从该检测器接收的模拟数据串流转换成描述所述图像子场31.mn的数字数据串流；硬件滤波器单元813，其配置成接收该数字数据串流并在使用期间执行所述图像子场31.mn的片段32与该空间变化滤波器内核910的卷积，从而产生失真校正的数据串流；以及图像存储器814，其配置成将该失真校正的数据串流储存为所述图像子场31.mn的2D呈现。

主权项：1.一种多束带电粒子显微镜1，包含：至少一个第一聚束式光栅扫描仪110，用于在多个J个图像子场31.mn上方聚束式扫描多个J个一次带电粒子小射束3；检测单元200，其包含检测器，用于检测多个J个二次电子小射束9，每一个二次电子小射束对应于所述J个图像子场31.mn中的一个；以及控制器800、820，其包含：扫描控制单元930，其连接到该第一聚束式光栅扫描仪110，并配置为在使用期间控制使用该第一聚束式光栅扫描仪110的所述多个J个一次带电粒子小射束3的光栅扫描操作；内核产生单元812，其配置为在使用期间产生用于所述图像子场31.mn的空间变化失真校正的空间变化滤波器内核910；以及图像数据采集单元810，其操作与该检测器、该扫描控制单元930和该内核产生单元的操作同步，其中该图像数据采集单元110对于所述J个图像子场中每一者包含：-模拟对数字转换器811，用于在使用期间将从该检测器接收的模拟数据串流转换成描述所述图像子场31.mn的数字数据串流；-硬件滤波器单元813，其配置成接收该数字数据串流并在使用期间执行所述图像子场31.mn的片段32与该空间变化滤波器内核910的卷积，从而产生失真校正的数据串流；以及-图像存储器814，其配置成将该失真校正的数据串流储存为所述图像子场31.mn的2D呈现。

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百度查询： 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 决定在利用多束带电粒子显微镜成像的图像中的特征的失真校正的位置的方法、相对应的计算机程序产品以及多束带电粒子显微镜