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申请/专利权人：宜春广欣科技有限公司
摘要：本发明实施例公开了一种低维碳银薄膜制造设备及其制备方法，属于生成纳米级厚度的复合物薄膜技术领域。所述低维碳银薄膜制造设备包括真空炉、RF电源、偏压电源、气体柜以及真空泵，所述RF电源为射频电源，所述气体柜以及所述真空泵均与所述真空炉相连通，所述真空炉内设置有两个铜电极和两个银基材支架，所述银基材支架底部与所述真空炉底部由铜电极相连，所述铜电极分别与所述RF电源和所述偏压电源相连接。本发明采用上述结构的一种低维碳银薄膜制造设备及其制备方法，得到的低维碳银薄膜具有良好的导电性、优良的杀菌和催化功能，具有优良的导电、防腐抑菌特性，可以应用于环境保护、食品安全、医疗保健等领域。
主权项：1.一种低维碳银薄膜制造设备，其特征在于，所述低维碳银薄膜制造设备包括真空炉、RF电源、偏压电源、气体柜以及真空泵，所述RF电源为射频电源，所述气体柜以及所述真空泵均与所述真空炉相连通，所述真空炉内设置有两个铜电极和两个银基材支架，所述银基材支架底部与所述真空炉底部由铜电极相连，所述铜电极分别与所述RF电源和所述偏压电源相连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宜春广欣科技有限公司 一种低维碳/银薄膜制造设备及其制备方法
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