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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文描述的实施方式提供一种用于对流体进行缺陷检查的方法和系统。在检查系统中，对多个容器进行缺陷检查，所述多个容器具有设置在所述多个容器中的流体。定时序列用于控制指向驻留在所述多个容器中的所述流体的光脉冲的定时。利用高分辨率相机来获得设置在所述多个容器中的所述流体的图像。检查区中的光脉冲的照射时间少于所述高分辨率相机的多个帧中的每个帧的曝光时间。照此，所述检查系统和利用所述检查系统的方法允许采集所述流体的高分辨率图像而不模糊所采集的图像中的缺陷。
主权项：1.一种流体检查系统，包括：运输系统，所述运输系统被配置为将流体的多个容器运输通过检查区；至少一个照射器，所述至少一个照射器指向所述检查区；一个或多个相机，所述一个或多个相机指向所述检查区；一个或多个致动器，所述一个或多个致动器被设置在所述检查区附近并且能操作以旋转流体的所述多个容器，使得所述容器内的所述流体在所述容器在检查区中的时间的至少一部分内保持旋转；和控制器，所述控制器与所述至少一个照射器和所述一个或多个相机通信，其中所述控制器被配置为：引起所述至少一个照射器根据定时序列来发射光脉冲；和采集在设置在所述检查区中的所述多个容器中旋转的流体的多个图像，其中所述光脉冲的照射时间少于所述一个或多个相机的每个帧的曝光时间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于流体检查的脉冲照射
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