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CEM组件和电子倍增设备 

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申请/专利权人:浜松光子学株式会社

摘要:本发明提供一种能够实现使向通道型电子倍增体施加的电压稳定的电压供给电路的小型化的CEM组件等。该CEM组件包括:包含输入电极130A、倍增通道110和输出电极130B的CEM100;和电压供给电路200。电压供给电路200包含电源部300和恒定电压发生部400,通过由电源部300产生的电动势,设定输入电极130A的电位。恒定电压发生部400包含产生电压下降的恒定电压供给部500,通过恒定电压供给部500的电压下降,保持被设定在输出侧基准节点410的目标电位。

主权项:1.一种CEM组件,其特征在于,包括:通道型电子倍增体,其具有:倍增通道,其包含获取带电粒子的输入端、放出二次电子的输出端和从所述输入端向所述输出端连续设置的二次电子放出层;以与所述二次电子放出层接触的状态设置在所述输入端的输入电极;和以与所述二次电子放出层接触的状态设置在所述输出端的输出电极;和用于向所述输入电极与所述输出电极之间施加规定的电压的电压供给电路,所述电压供给电路具有:被设定为第一基准电位的第一端子;与所述输入电极连接的第二端子;与所述输出电极连接的第三端子;被设定为第二基准电位的第四端子;配置在所述第一端子与所述第二端子之间的电源部,其产生用于确保所述第一端子与经所述第二端子被设定为与所述输入电极同电位的输入侧基准节点之间的电位差的电动势;和配置在所述第三端子与所述第四端子之间的、保持用于对所述输出电极的电位进行调整的目标电位的恒定电压发生部,其包含:位于所述第三端子与所述第四端子之间并且被设定为所述目标电位的输出侧基准节点;和产生用于确保所述第四端子与所述输出侧基准节点之间的电位差的电压下降的恒定电压供给部。

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