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申请/专利权人：杭州电子科技大学
摘要：本发明属于半导体光电探测技术领域，提供了一种二硫化钼钛酸钡复合材料纳米卷光电探测器及其制作方法，分为以下四步：1制备单层二硫化钼薄膜；2制备二硫化钼钛酸钡复合材料；3制备二硫化钼钛酸钡复合材料纳米卷；4制备基于3中材料的光电探测器。通过引入钛酸钡纳米颗粒与二硫化钼复合后构筑纳米卷结构，可以显著提升二硫化钼的光响应度，从而得到一种具有高光响应度的光电探测器件。同时该探测器具有良好的环境稳定性，且所用原料绿色环保，所用设备简单，制备容易，成本低廉，易于大规模制备。
主权项：1.二硫化钼钛酸钡复合纳米卷光电探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1制备单层二硫化钼薄膜；步骤2制备二硫化钼钛酸钡复合材料：将钛酸钡纳米颗粒置于有机挥发溶液中超声处理至均匀分散，在二硫化钼薄膜上旋涂分散液，干燥后得到二硫化钼钛酸钡复合材料；步骤3制备二硫化钼钛酸钡复合材料纳米卷；在步骤2制备的二硫化钼钛酸钡复合材料表面滴入碳酸氢钠溶液，加热后，用去离子水冲洗干净，用氮气吹干得到二硫化钼钛酸钡复合材料纳米卷；步骤4将金属电极转移到步骤3制备得到的二硫化钼钛酸钡复合材料纳米卷上，得到光电探测器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州电子科技大学 二硫化钼钛酸钡复合纳米卷光电探测器及其制备方法
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