龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本发明公开了一种芯片级封装熔融石英微半球谐振陀螺结构及其制备方法，该陀螺结构包括谐振结构、基底组件与封装盖帽；封装盖帽固定在基底组件顶部，并与基底组件之间围成真空腔；谐振结构位于真空腔内并连接在基底组件顶部，谐振结构的边缘与基底组件之间存在间隙，用于形成敏感电容；谐振结构、基底组件、封装盖帽均由熔融石英材料制成。本发明涉及谐振陀螺仪及其制造领域，以微半球谐振陀螺仪的熔融石英基底组件作为封装管壳的一部分，避免在微半球谐振陀螺仪封装时引入其它材料的壳体结构，有效避免热失配带来的全温性能变差等问题，并且在封装基底和谐振结构间引入悬臂梁结构，显著提升微半球陀螺仪在温度变化和冲击振动条件下的性能。
主权项：1.一种芯片级封装熔融石英微半球谐振陀螺结构，其特征在于，包括谐振结构、基底组件与封装盖帽；所述封装盖帽固定在所述基底组件顶部，并与所述基底组件之间围成真空腔；所述谐振结构位于所述真空腔内并固定连接在所述基底组件顶部，所述谐振结构的边缘与所述基底组件之间存在间隙，用于形成敏感电容；所述谐振结构、所述基底组件、所述封装盖帽均由熔融石英材料制成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 芯片级封装熔融石英微半球谐振陀螺结构及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号