龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明涉及一种用于处理基板的装置，其包括：处理容器，在所述处理容器中具有处理空间；基板支承单元，所述基板支承单元支承所述处理空间中的所述基板；以及液体分配单元，所述液体分配单元将处理液体分配到放置在所述基板支承单元上的所述基板上。液体分配单元包括处理液体管，所述处理液体流动通过所述处理液体管；恒温水管，恒温水流动通过所述恒温水管，并且所述恒温水管围绕所述处理液体管，其中所述恒温水将流动通过所述处理液体管的所述处理液体维持在设定温度；恒温水供应管，所述恒温水供应管将所述恒温水供应至所述恒温水管；和活化构件，所述活化构件安装在所述恒温水供应管中并且活化所述恒温水中的离子。
主权项：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括：处理容器，在所述处理容器中具有处理空间；基板支承单元，所述基板支承单元配置为支承所述处理空间中的所述基板；和液体分配单元，所述液体分配单元配置为将处理液体分配到放置在所述基板支承单元上的所述基板上，其中，所述液体分配单元包括：处理液体管，所述处理液体流动通过所述处理液体管；恒温水管，恒温水流动通过所述恒温水管，所述恒温水管配置为围绕所述处理液体管，其中所述恒温水将流动通过所述处理液体管的所述处理液体维持在设定温度；恒温水供应管，所述恒温水供应管配置为将所述恒温水供应至所述恒温水管；歧管，所述歧管配置为连接所述恒温水管和所述恒温水供应管；恒温水收集管，所述恒温水收集管配置为将来自所述歧管的所述恒温水收集到恒温水源中；和活化构件，所述活化构件安装在所述恒温水供应管和所述恒温水收集管中，并且配置为活化所述恒温水中的离子。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号