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申请/专利权人：北冶功能材料(江苏)有限公司;北京北冶功能材料有限公司

摘要：本申请涉及合金制备技术领域，尤其涉及一种金属掩膜版用因瓦合金的制备方法。所述方法包括:对原材料进行真空熔炼，并控制所述原材料的化学成分，得到钢水；使用所述钢水对所述铸锭模进行浇注，后进行振动，得到铸锭；其中，所述铸锭模的外部处于保温状态；对所述铸锭进行重熔精炼，得到钢锭；对所述钢锭进行均匀化处理，后进行锻造和热轧，以及轧后分阶段修磨处理，得到因瓦合金。本申请内容解决了现有金属掩膜版用因瓦合金表面夹杂物缺陷较多的技术问题。

主权项：1.一种金属掩膜版用因瓦合金的制备方法，其特征在于，所述方法包括:对原材料进行真空熔炼，并控制所述原材料的化学成分，得到钢水；使用所述钢水对铸锭模进行浇注，后进行振动，得到铸锭；其中，铸锭模的外部处于保温状态；对该铸锭表面处理：铸锭车光处理，去除氧化物以及浇铸缺陷；对所述铸锭进行重熔精炼，得到钢锭；对所述钢锭进行均匀化处理，后进行锻造和热轧，以及轧后分阶段修磨处理，得到因瓦合金；对坯料锻造后，对坯料表面处理：采用20目-24目砂轮进行修磨；对所述因瓦合金进行循环冷轧，并控制所述冷轧中每个轧程的变形量，得到冷轧带钢；对所述冷轧带钢进行分阶段退火处理，得到成品箔材；所述原材料的化学成分由以下组分组成：C、Si、Mn、Ni、S、P、O、Ce、Fe、N、H、Ca、Al；其中，C的含量为≤0.01重量％，Si的含量为≤0.05重量％，Mn的含量为0.02重量％-0.08重量％，Ni的含量为35.0重量％-37.0重量％，S的含量为≤0.002重量％，P的含量为≤0.002重量％，O的含量为≤0.001重量％，Ce的含量为0.005重量％-0.01重量％；且满足[O]+[N]+[H]≤0.0015重量％，[Si]+[Ca]+[Al]≤0.05重量％；其中，[O]表示O的重量，[N]表示N的重量，[H]表示H的重量，[Si]表示Si的重量，[Ca]表示Ca的重量，[Al]表示Al的重量；对所述冷轧带钢进行分阶段退火处理，得到成品箔材，包括：对所述冷轧带钢进行第一退火处理，后进行轧制和拉矫，得到成品箔材；对所述成品箔材进行第二退火处理，以除去成品箔材的应力；其中，轧制的变形量为40％-70％，拉矫的伸长率为≤2％；所述每个轧程的变形量为50％-80％；所述第一退火处理的温度为880℃-950℃；所述第二退火处理的温度为450℃-600℃。

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