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光掩膜版的缺陷修补装置 

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申请/专利权人:睿晶半导体(宁波)有限公司

摘要:本申请提供了一种光掩膜版的缺陷修补装置,所述装置包括:掩膜版移动载台,用于承载所述光掩膜版;可移动目镜组,所述可移动目镜组位于所述掩膜版移动载台上方并能够在与所述掩膜版移动载台垂直的方向上移动,用于观测所述光掩膜版,以获取所述光掩膜版的缺陷区域;可伸缩保护模块,设置于所述可移动目镜组与所述掩膜版移动载台之间并能够在与所述掩膜版移动载台平行的方向上伸缩,用于对所述光掩膜版的缺陷区域进行保护。上述技术方案,缩短了金属铬残留导致的缺陷处理流程,从而节省了设备时间,节省了生产成本,缩短了制作周期,提高了生产效率。

主权项:1.一种光掩膜版的缺陷修补装置,其特征在于,所述装置包括:掩膜版移动载台,用于承载所述光掩膜版;可移动目镜组,所述可移动目镜组位于所述掩膜版移动载台上方并能够在与所述掩膜版移动载台垂直的方向上移动,用于观测所述光掩膜版,以获取所述光掩膜版的缺陷区域;可伸缩保护模块,设置于所述可移动目镜组与所述掩膜版移动载台之间并能够在与所述掩膜版移动载台平行的方向上伸缩,用于对所述光掩膜版的缺陷区域进行保护。

全文数据:

权利要求:

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