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一种单晶炉控温控压组件 

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申请/专利权人:常州渊栋电力设备有限公司

摘要:本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种单晶炉控温控压组件,包括炉体及设置于炉体内侧的坩埚,所述炉体顶部一侧设有进气管,所述炉体顶部设有结晶防护罩,所述坩埚上侧设有与结晶防护罩适配的导风板,所述坩埚外侧设有加热装置,所述坩埚底部设有支撑装置;所述炉体底部内壁设有稳压气囊,所述炉体一侧设有储气罐,所述储气罐一侧设有气泵,所述气泵与稳压气囊相通,所述炉体内侧设有气压传感器;本实用新型设置结晶防护罩和导风板,对进气进行缓冲,避免影响单晶硅生长,同时设置稳压气囊,根据炉体内部气压进行自动调整,确保炉内气压稳定,降低惰性气体消耗。

主权项:1.一种单晶炉控温控压组件,包括炉体1及设置于炉体1内侧的坩埚2,其特征在于,所述炉体1顶部一侧设有进气管9,所述炉体1顶部设有结晶防护罩11,所述坩埚2上侧设有与结晶防护罩11适配的导风板10,所述坩埚2外侧设有加热装置3,所述坩埚2底部设有支撑装置5;所述炉体1底部内壁设有稳压气囊6,所述炉体1一侧设有储气罐7,所述储气罐7一侧设有气泵8,所述气泵8与稳压气囊6相通,所述炉体1内侧设有气压传感器。

全文数据:

权利要求:

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