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申请/专利权人：河北惟新科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种ITO烧结炉氧气回收系统，包括烧结炉、储气单元、纯化单元和气体压缩单元，储气单元设置于烧结炉和纯化单元之间，纯化单元设置于储气单元和气体压缩单元之间；储气单元包括一级储气罐、二级储气罐和三级储气罐，一级储气罐与烧结炉通过管道相连，二级储气罐设置于一级储气罐和三级储气罐之间；纯化单元和三级储气罐之间设置有氧气预处理装置，氧气预处理装置包括粉尘过滤器和活性炭过滤器；气体压缩单元包括缓冲罐一和缓冲罐二，缓冲罐一与纯化单元相连，缓冲罐二与缓冲罐一之间设置有增压装置；缓冲罐二与烧结炉通过管道相连。本实用新型属于ITO靶材生产技术领域，具体提供了一种ITO烧结炉氧气回收系统。
主权项：1.一种ITO烧结炉氧气回收系统，其特征在于：包括烧结炉、储气单元、纯化单元和气体压缩单元，所述储气单元设置于烧结炉和纯化单元之间，所述纯化单元设置于储气单元和气体压缩单元之间；所述储气单元包括三组储气罐，三组所述储气罐分别为一级储气罐、二级储气罐和三级储气罐，所述一级储气罐与烧结炉通过管道相连，所述二级储气罐设置于一级储气罐和三级储气罐之间；所述纯化单元和三级储气罐之间设置有氧气预处理装置，所述氧气预处理装置包括粉尘过滤器和活性炭过滤器；所述气体压缩单元包括两组缓冲罐，两组所述缓冲罐分别为缓冲罐一和缓冲罐二，所述缓冲罐一与纯化单元相连，所述缓冲罐二与缓冲罐一之间设置有增压装置；所述缓冲罐二与烧结炉通过管道相连，该回收系统的动作循环由PLC控制自动执行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北惟新科技有限公司 一种ITO烧结炉氧气回收系统
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