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申请/专利权人：歌尔微电子股份有限公司
摘要：本发明公开了一种麦克风和电子设备，涉及声电转换技术领域，其中，麦克风包括基板、外壳、悬挂薄片和MEMS芯片，基板的一表面开设有凹槽；外壳设置在基板朝向凹槽的表面，并与基板围合形成容置腔，所述外壳或所述基板开设有连通所述容置腔的声孔；悬挂薄片设置于基板朝向容置腔的表面，并盖合于凹槽；MEMS芯片设置在悬挂薄片背向基板的表面。本发明的技术方案能够改变力的传递途径，基板的变形会优先被悬挂薄片吸收，悬挂薄片位于凹槽内的部分会发生拉伸或缩短变形，进而使得传递到MEMS芯片的力会大大降低，降低MEMS芯片对外载的敏感性，提高了MEMS芯片的抗机械载荷能力，从而提升麦克风的稳定性，提升用户体验。
主权项：1.一种麦克风，其特征在于，所述麦克风包括：基板，所述基板的一表面开设有凹槽；外壳，所述外壳设置在所述基板朝向所述凹槽的表面，并与所述基板围合形成容置腔，所述外壳或所述基板开设有连通所述容置腔的声孔；悬挂薄片，所述悬挂薄片设置于所述基板朝向所述容置腔的表面，并盖合于所述凹槽；MEMS芯片，所述MEMS芯片设置在所述悬挂薄片背向所述基板的表面。
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百度查询： 歌尔微电子股份有限公司 麦克风和电子设备
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