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申请/专利权人：三井化学株式会社
摘要：本发明涉及具有配置防护膜11的框体12和配置于框体12的掩模用粘着剂层13的防护膜组件，当对以预定的接触面积A1与石英制掩模4接触的粘着剂层13实施水洗试验时，粘着剂层13的去除率{水洗试验前的接触面积A1‑水洗试验后的接触面积A2水洗试验前的接触面积A1}为80％以上。
主权项：1.一种防护膜组件，具有配置防护膜的框体和配置于所述框体的掩模用粘着剂层，当对以预定的接触面积A1与石英制掩模接触的所述粘着剂层实施水洗试验时，所述粘着剂层的去除率即所述水洗试验前的所述接触面积A1-所述水洗试验后的接触面积A2所述水洗试验前的所述接触面积A1为80％以上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三井化学株式会社 防护膜组件、曝光原版和曝光装置、以及防护膜组件的制造方法和掩模用粘着剂层的试验方法
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