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申请/专利权人：佳能安内华股份有限公司
摘要：一种检查装置，用于对检查对象物进行检查，所述检查装置包括：X射线产生管，具有包括通过被电子束照射而产生X射线的X射线产生部的标靶，并被配置为对所述检查对象物的检查对象表面发射X射线；X射线检测器，被配置为检测从存在于被照射来自所述X射线产生部的X射线的所述检查对象表面上的异物发射并被所述检查对象表面全反射的X射线；以及调整机构，被配置为调整所述检查对象表面与所述X射线检测器之间的相对位置。
主权项：1.一种检查装置，用于对检查对象物进行检查，所述检查装置包括：X射线产生管，具有包括通过被电子束照射而产生X射线的X射线产生部的标靶，并被配置为对所述检查对象物的检查对象表面发射X射线；X射线检测器，被配置为检测从存在于被照射来自所述X射线产生部的X射线的所述检查对象表面上的异物发射并被所述检查对象表面全反射的X射线；以及调整机构，被配置为调整所述检查对象表面与所述X射线检测器之间的相对位置。
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百度查询： 佳能安内华股份有限公司 检查装置以及检查方法
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