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用于检查的探针构件及其制造方法 

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申请/专利权人:白正均

摘要:根据本公开的一实施例的检查探针构件包括:主体部分,具有柱形状;以及多个接触突起,具有顶点并被提供在设定在柱横截面区域中的主体部分上,其中接触突起包括竖直部分和倾斜部分,该竖直部分形成为垂直于主体部分的表面并连接到顶点,并且该倾斜部分倾斜地连接到主体部分的表面上的竖直部分的上端并连接到顶点。

主权项:1.一种制造检查探针构件的方法,所述方法制造具有提供在主体部分上的多个接触突起的检查探针构件,所述方法包括:第一步骤,基于垂直于基板的表面的方向,在与所述基板的所述主体部分对应的区域中形成多个锥体槽;第二步骤,用光致抗蚀剂填充所述锥体槽并用所述光致抗蚀剂涂覆所述基板的所述表面作为第一层;第三步骤,将所述第一层图案化为第一图案,以对应于所述接触突起和所述主体部分;第四步骤,用光致抗蚀剂填充与所述接触突起对应的所述锥体槽的空间,并且用所述光致抗蚀剂涂覆所述第一图案作为第二层;第五步骤,将所述第二层图案化为第二图案,以对应于所述接触突起和所述主体部分;第六步骤,通过用金属镀覆由所述锥体槽、所述第一图案和所述第二图案设定的内部空间来形成所述接触突起和所述主体部分;以及第七步骤,通过移除所述第一图案、所述第二图案和所述基板来获取所述检查探针构件。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 白正均 用于检查的探针构件及其制造方法

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