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申请/专利权人：深圳市伽蓝特科技有限公司

摘要：本申请涉及半导体测试装置的技术领域，尤其是涉及一种晶圆测试用探针台，其包括机架，机架上设有测试装置和转料装置，转料装置包括机械手，还包括转动架设在机架上的旋转支架，机架上设有用于驱使旋转支架转动的旋转电机，旋转支架的旋转轴心水平，旋转支架位于测试装置下方，旋转支架上滑动设有底座，旋转支架上设有用于驱使底座滑移的驱动机构，底座成对设置，两个底座的滑移方向相反，底座背向旋转支架中心一侧的面上设有吸附板，底座通过横移组件和纵移组件与吸附板相连，吸附板背向底座一侧开设有气孔，气孔朝向底座的一端接有气泵。本申请具有提高测试效率的效果。

主权项：1.一种晶圆测试用探针台，包括机架1，所述机架1上设有测试装置2和转料装置3，所述转料装置3包括机械手31，其特征在于：还包括转动架设在机架1上的旋转支架8，所述机架1上设有用于驱使旋转支架8转动的旋转电机11，所述旋转支架8的旋转轴心水平，旋转支架8位于测试装置2下方，旋转支架8上滑动设有底座81，旋转支架8上设有用于驱使底座81滑移的驱动机构82，所述底座81成对设置，两个底座81的滑移方向相反，底座81背向旋转支架8中心一侧的面上设有吸附板83，底座81通过横移组件84和纵移组件85与吸附板83相连，所述吸附板83背向底座81一侧开设有气孔831，所述气孔831朝向底座81的一端接有气泵833，所述驱动机构82包括转动架设在旋转支架8上的驱动齿轮821，所述旋转支架8上设有第一驱动电机822，所述第一驱动电机822的机轴与驱动齿轮821相连，两个所述底座81上均设有驱动齿条823，两个所述驱动齿条823分别位于驱动齿轮821的两侧，驱动齿条823与驱动齿轮821啮合，驱动齿条823沿底座81的滑移方向设置，所述旋转支架8通过转轴86与机架1相连，所述转轴86上套设有正齿轮87和反齿轮88，所述机架1上转动架设有第一传动轴12和第二传动轴13，所述第一传动轴12和第二传动轴13均与转轴86平行，所述第一传动轴12与旋转电机11的机轴相连，第一传动轴12上键连接有第一齿轮14，所述第二传动轴13上键连接有第二齿轮15和第三齿轮16，所述第一齿轮14与第一传动轴12滑动配合，第一齿轮14在滑移至与正齿轮87齐平时啮合于正齿轮87上，第一齿轮14在滑移至与第二齿轮15齐平时啮合于第二齿轮15上，所述第三齿轮16与反齿轮88啮合，所述机架1上还架设有气缸17，所述气缸17与第一传动轴12平行，气缸17的活塞杆上连接有推块171和勾块172，所述推块171和勾块172分别与第一齿轮14的两端面相抵。

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