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一种PCB制程清洗用高浓度臭氧水发生装置 

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申请/专利权人:上海集研机电股份有限公司

摘要:本发明涉及臭氧水制备技术领域,具体公开了一种PCB制程清洗用高浓度臭氧水发生装置,包括溶解箱和臭氧发生器,所述溶解箱内设置有用于输送水的盘管,所述盘管的两端分别与溶解箱侧壁呈贯穿设置,所述盘管靠近溶解箱的一端通过法兰连接有射流器,所述溶解箱远离臭氧发生器的一侧设置用于调节盘管内水压的调节组件,所述溶解箱内设置有臭氧输送管,所述臭氧输送管和臭氧发生器之间设置有用于调节臭氧流速的调控组件,所述臭氧输送管和盘管之间设置有多组引流组件。本发明具有了对臭氧的多点位等速率输送结构,具有了对水压线性调节功能,具有了对臭氧输送速率的线性自动调节结构,提高了臭氧溶解效率。

主权项:1.一种PCB制程清洗用高浓度臭氧水发生装置,包括溶解箱(1)和臭氧发生器(2),其特征在于:所述溶解箱(1)内设置有用于输送水的盘管(3),所述盘管(3)的两端分别与溶解箱(1)侧壁呈贯穿设置,所述盘管(3)靠近溶解箱(1)的一端通过法兰连接有射流器(31),所述溶解箱(1)远离臭氧发生器(2)的一侧设置用于调节盘管(3)内水压的调节组件,所述溶解箱(1)内设置有臭氧输送管(4),所述臭氧输送管(4)位于盘管(3)的下方,所述臭氧输送管(4)和臭氧发生器(2)之间设置有用于调节臭氧流速的调控组件,所述臭氧输送管(4)和盘管(3)之间设置有多组引流组件,所述溶解箱(1)远离臭氧发生器(2)的一侧设置有冷气导入管(11),所述冷气导入管(11)用于连接制冷设备;所述调节组件包括调节箱(32),所述调节箱(32)固定安装于溶解箱(1)远离臭氧发生器(2)的一侧,所述调节箱(32)远离溶解箱(1)的一侧设置有排水管(33),所述调节箱(32)的侧壁设置有压力传感器(34),所述调节箱(32)的相向两侧内壁均固定安装有限位轨(35),两个所述限位轨(35)之间固定安装有支撑框(36),两个所述限位轨(35)之间滑动安装有两个止水板(37),两个所述止水板(37)分别贴合于支撑框(36)的两侧,所述调节箱(32)内设置有用于驱动两个止水板(37)反向滑动的驱动组件;所述引流组件包括支撑筒(61)、引流筒(62)和扩散器(63),所述支撑筒(61)固定安装于臭氧输送管(4)的顶壁,所述引流筒(62)贯穿且固定安装于支撑筒(61)的顶壁,所述扩散器(63)固定安装于盘管(3)的侧壁,所述引流筒(62)和扩散器(63)之间固定套接有连接管(64),所述引流筒(62)的底壁贯穿且固定安装有进气筒(65),所述进气筒(65)的侧壁设置有多个限流口(66),所述支撑筒(61)内设置有用于限定臭氧流速的限流组件。

全文数据:

权利要求:

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