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一种正八面体钽酸镧单晶薄膜及其制备方法 

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申请/专利权人:电子科技大学长三角研究院(湖州)

摘要:本发明涉及光电半导体单晶薄膜技术领域,具体公开了一种正八面体钽酸镧单晶薄膜及其制备方法,将氢氧化钾加入去离子水中,充分搅拌至澄清;取一定面积的银白色亮光钽片置于上述溶液;并于溶解容器中反应一定时间后,取出钽片置于装有氯化镧溶液的溶解容器中继续反应,用去离子水冲洗后得到的银灰色哑光薄膜即为正八面体的钽酸镧薄膜。本发明采用离子交换法制备,在制备过程中不涉及传统钽基材料合成制备涉及到的高温固相反应环境,其产物均匀,重复性好,另外也不涉及电子束沉积、磁控溅射等方法需要的昂贵科学仪器设备。该方法制备条件温和、能源利用率高、设备要求小,推广性强,在光电半导体薄膜与器件制备方面具有极高的应用价值。

主权项:1.一种正八面体钽酸镧单晶薄膜,其特征在于,所述正八面体钽酸镧单晶薄膜为单层结构,薄膜厚度为60nm~1um,由正八面体的钽酸镧单晶颗粒组成;所述钽酸镧单晶颗粒是互相隔离的单晶结构和或互相穿插的正八面体结构;所述八面体的棱长为40nm~800nm。

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