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利用倒置母版进行全息记录的方法和系统 

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申请/专利权人:迪吉伦斯公司

摘要:本文公开了利用倒置全息母版技术记录全息波导的方法和装置。在一些实施例中,提供了一种用于记录全息波导的装置。该装置可以包括:光源,被配置为提供记录波束;母版基板,具有非光栅调制的表面和光栅调制的表面,其中光栅调制的表面与非光栅调制的表面相对并且被配置为衍射记录波束;底部基板,具有涂覆有抗反射涂层的相对的透光表面,叠加在基板的光栅调制的表面上并与母版基板由间隙隔开;以及曝光单元,包含全息记录材料,直接面向母版基板的非光栅调制的表面。有利地,倒置全息母版技术减轻了不需要的反射的曝光光的影响。

主权项:1.一种用于记录全息波导的装置,包括:光源,被配置为提供记录波束;母版基板,具有非光栅调制的表面和光栅调制的表面,其中光栅调制的表面与非光栅调制的表面相对并且被配置为衍射记录波束;底部基板,具有涂覆有抗反射涂层的相对的透光表面,叠加在母版基板的光栅调制的表面上并与母版基板由间隙隔开;以及曝光单元,包含全息记录材料,直接面向母版基板的非光栅调制的表面。

全文数据:

权利要求:

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