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申请/专利权人：哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
摘要：本发明公开一种复合铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法，涉半导体技术领域。所述复合铁电薄膜包括层叠设置的氧化铪基铁电层和异质氧化物层，所述异质氧化物层包括CeO2、Al2O3、ZrO2中的至少一种。本发明将异质氧化物层与氧化铪基铁电层复合形成复合铁电薄膜，异质氧化物层作为异质界面的引入使得所述复合铁电薄膜具有更好的循环稳定性。相比于单纯的氧化铪基铁电薄膜，所述复合铁电薄膜的循环稳定性提升了2～3个数量级。
主权项：1.一种复合铁电薄膜，其特征在于，所述复合铁电薄膜包括层叠设置的氧化铪基铁电层和异质氧化物层，所述异质氧化物层包括CeO2、Al2O3、ZrO2中的至少一种。
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百度查询： 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院) 一种复合铁电薄膜、铁电电容器及其制备方法
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