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申请/专利权人：上海优尊真空设备有限公司
摘要：本发明涉及一种机械分子泵，包括底座、外壳、转轴、分子泵定子、分子泵转子和轴承，底座和外壳固定连接，转轴通过轴承与底座转动连接，分子泵定子位于外壳内部并与外壳固定连接，分子泵转子与转轴固定连接，还包括半导体制冷片，半导体制冷片的冷端通过第一热管与轴承连接，半导体制冷片的热端通过第二热管与外壳连接。本发明半导体制冷片冷端通过第一热管冷却轴承，进而通过热传递降低轴承和分子泵转子的温度，热端通过第二热管加热分子泵定子，提高分子泵定子的温度，进而减少气体在分子泵定子表面凝结；降低了轴承中润滑油的温度，降低了润滑油的蒸发量，减小了润滑油蒸汽的污染。
主权项：1.一种机械分子泵，包括底座1、外壳2、转轴3、分子泵定子4、分子泵转子5和轴承6，所述底座1和外壳2固定连接，所述转轴3通过轴承6与底座1转动连接，所述分子泵定子4位于外壳2内部并与外壳2固定连接，所述分子泵转子5与转轴3固定连接，其特征在于：还包括半导体制冷片7，所述半导体制冷片7的冷端通过第一热管73与轴承6连接，所述半导体制冷片7的热端通过第二热管75与外壳2连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海优尊真空设备有限公司 一种机械分子泵
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