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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本发明涉及晶圆检测技术领域，公开了一种晶圆检测装置及晶圆传输设备，包括承托机构和检测机构。承托机构用于承托晶圆，承托机构适于限制晶圆的移动；检测机构与承托机构连接，检测机构包括检测杆和检测组件，检测组件适于检测检测杆的位置，检测杆沿着第一方向具有第一位置和第二位置，承托机构承托晶圆时，检测杆移动至第一位置后被晶圆阻挡，承托机构没有承托晶圆时，检测杆通过第一位置后能够继续移动至第二位置。该晶圆检测装置利用检测杆的移动这种机械方式判断晶圆是否存在，使得即使晶圆在承托机构上的姿态出现歪斜，检测杆仍能够在第一位置被晶圆所阻挡，大大提升了检测的准确性和可靠程度。
主权项：1.晶圆检测装置，其特征在于，包括：承托机构1，用于承托晶圆，所述承托机构1适于限制所述晶圆的移动；检测机构2，与所述承托机构1连接，所述检测机构2包括检测杆21和检测组件22，所述检测组件22适于检测检测杆21的位置，所述检测杆21沿着第一方向具有第一位置和第二位置，所述承托机构1承托所述晶圆时，所述检测杆21移动至所述第一位置后被所述晶圆阻挡，所述承托机构1没有承托所述晶圆时，所述检测杆21通过所述第一位置后能够继续移动至所述第二位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 晶圆检测装置及晶圆传输设备
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