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申请/专利权人：上海赛夫特半导体材料有限公司
摘要：本发明公开了一种超纯树脂材料痕量金属杂质的分析方法，步骤包含以下几步：1层流罩中超纯树脂材料取样；2标准贮存溶液配制混合元素标准溶液；3配制标准系列工作溶液；4制备样品溶液，并进行数据测定；5数据分析。本发明申请通过特定的灰化消解温度、灰化升温速率和特定配比溶解酸液的配合，有效保留了超纯树脂材料中的痕量金属，具有良好的超纯树脂材料痕量金属杂质的检测效果，具有优异的检测准确度和精密度，适宜在分析检测域推广，具有广阔的发展前景。
主权项：1.一种超纯树脂材料痕量金属杂质的分析方法，其特征在于：步骤包含以下几步：（1）层流罩中超纯树脂材料取样；（2）标准贮存溶液配制混合元素标准溶液；（3）配制标准系列工作溶液；（4）制备样品溶液，并进行数据测定；（5）数据分析；所述制备样品溶液为将超纯树脂材料通过灰化消解并酸液溶解的方法制备样品溶液；所述灰化消解的温度为500~550℃；所述灰化消解的升温速率为3~5℃min；所述酸液为硝酸、盐酸、硫酸和超纯水；所述硝酸、盐酸和超纯水的体积比为1~2：0.1~0.5：0.5~0.8：18~20。
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权利要求：
百度查询： 上海赛夫特半导体材料有限公司 一种超纯树脂材料痕量金属杂质的分析方法及其应用
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