龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：无锡星微科技有限公司杭州分公司
摘要：本发明公开了具有角度调整机构的反馈系统，属于半导体检测技术领域，该调整机构包括平台，平台连接有调节机构，平台上设有载物板，载物板上相对设置有夹紧块，载物板设有使夹紧块相向运动的驱动机构，夹紧块相对一侧设有卡轮，驱动机构包括转动设置于载物板下方的螺杆，载物板设有滑槽，夹紧块设于滑槽内且与有与螺杆配合连接，卡轮内配合设置有第一活塞，第一活塞底部设有滑动头，载物板上端面设有凹槽，凹槽沿夹紧块滑移方向延伸，滑动头位于凹槽内，凹槽底面具有斜面，斜面向载物板中心处升高，卡轮侧壁设有第一气孔。本发明能实现晶圆稳定吸附，同时具有自洁和自润滑功能，提高了检测效率。
主权项：1.具有角度调整机构的反馈系统，包括：平台（1），其特征是：所述平台（1）连接有调节机构（2），所述平台（1）上设有载物板（3），所述载物板（3）上相对设置有夹紧块（4），所述载物板（3）设有使所述夹紧块（4）相向运动的驱动机构，所述夹紧块（4）相对一侧设有卡轮（5），所述卡轮（5）内配合设置有第一活塞（50），所述第一活塞（50）底部设有滑动头（51），所述载物板（3）上端面设有凹槽（52），所述凹槽（52）沿所述夹紧块（4）滑移方向延伸，所述滑动头（51）位于所述凹槽（52）内，所述凹槽（52）底部具有斜面（53），所述斜面（53）向所述载物板（3）中心处升高，所述卡轮（5）侧壁设有第一气孔（54），所述滑动头（51）在所述凹槽（52）内滑移并持续接触所述斜面（53），使得所述滑动头（51）带动所述第一活塞（50）在所述卡轮（5）内向上滑移，所述第一气孔（54）位于所述第一活塞（50）上方，所述第一气孔（54）在所述卡轮（5）侧壁环绕设置，所述第一气孔（54）朝向所述载物板（3）中心设置，所述第一活塞（50）与所述卡轮（5）顶部之间连接有复位弹簧（55）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡星微科技有限公司杭州分公司 具有角度调整机构的反馈系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号