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申请/专利权人：夏泰鑫半导体(青岛)有限公司
摘要：一种等离子体处理装置，包括：静电卡盘，用于支撑待处理基板；基座环，围绕所述静电卡盘设置；边缘环，位于所述基座环上并围绕所述待处理基板设置；升降结构，包括升降销及驱动件，所述升降销可活动地穿过所述基座环并对应所述边缘环，所述驱动件连接所述升降销以驱动所述升降销升降，从而带动所述边缘环升降；传感器，设置于所述升降销与所述驱动件之间，以在所述边缘环升起后测量所述边缘环的重量。本发明还提供一种应用上述等离子体处理装置的边缘环的更换方法。
主权项：1.一种等离子体处理装置，包括：静电卡盘，用于支撑待处理基板；基座环，围绕所述静电卡盘设置；边缘环，位于所述基座环上并围绕所述待处理基板设置；升降结构，包括升降销及驱动件，所述升降销可活动地穿过所述基座环并对应所述边缘环，所述驱动件连接所述升降销以驱动所述升降销升降，从而带动所述边缘环升降，所述等离子体处理装置包括至少两个升降销，且所述至少两个升降销为一体成型设计；其特征在于，所述等离子体处理装置还包括：传感器，设置于所述升降销与所述驱动件之间，以在所述边缘环升起后测量所述边缘环的重量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 等离子体处理装置及边缘环的更换方法
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