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申请/专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
摘要：本发明提供了一种晶圆搬运装置，包括外侧壁均设置有取送导向结构的第一支撑机构和第二支撑机构；还包括第一取送机构和第二取送机构，分别活动设置于所述第一支撑机构的取送导向结构和所述第二支撑机构的取送导向结构；所述第一取送机构和所述第二取送机构均包括朝向相反的末端执行部；还包括旋转机构和旋转驱动部，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构固定设置于所述旋转机构，所述旋转驱动部驱动旋转机构作旋转运动，进而带动所述第一支撑机构和所述第二支撑机构的至少一个同步旋转，能够扩展晶圆的取送范围，有利于提高产能。本发明还提供了一种晶圆搬运方法。
主权项：1.一种晶圆搬运装置，其特征在于，包括：第一支撑机构和第二支撑机构，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构沿平移方向并排设置，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构相对的两个外侧壁均设置有取送导向结构；第一取送机构和第二取送机构，分别活动设置于所述第一支撑机构的取送导向结构和所述第二支撑机构的取送导向结构；所述第一取送机构和所述第二取送机构均包括末端执行部，所述第一取送机构的末端执行部和所述第二取送机构的末端执行部沿升降方向相对设置，并朝向相反的方向，所述升降方向垂直于所述平移方向；取送驱动部，连接所述第一取送机构和所述第二取送机构，以带动所述第一取送机构沿所述第一支撑机构的取送导向结构的设置方向运动，以及带动所述第二取送机构沿所述第二支撑机构的取送导向结构的设置方向运动；旋转机构和旋转驱动部，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构固定设置于所述旋转机构，所述旋转机构旋转设置于所述旋转驱动部，所述旋转驱动部驱动旋转机构作旋转运动，进而带动所述第一支撑机构和所述第二支撑机构的至少一个同步旋转，以改变所述第一取送机构和所述第二取送机构的至少一个的运动方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 晶圆搬运装置及晶圆搬运方法
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