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申请/专利权人：大连理工大学
摘要：本发明属于数控机床加工技术领域，提供了基于阿贝原则和布莱恩原则的晶圆面形预测模型建立方法，该方法基于精密测量原理‑阿贝原则和布莱恩原则探究由几何误差测量过程中测量位置带来的测量误差对晶圆面形精度的影响，建立几何误差与晶圆面形之间的映射关系。该模型不仅考虑了磨削机床各轴系及各轴系间的几何误差对晶圆面形的影响，还考虑了由几何误差测量位置引起的测量误差对晶圆面形的影响，为优化磨削机床和提高晶圆面形精度提供了理论依据。
主权项：1.基于阿贝原则和布莱恩原则的晶圆面形预测模型建立方法，其特征在于，包括步骤如下：S1.根据磨削机床空间结构建立对应拓扑结构，将运动链分为工件链和刀具链；在砂轮中心位置处定义静止的机床坐标系{OP}，定义随工件旋转的工件坐标系{Ow}，其原点位于工件中心点；S2.基于阿贝原则与布莱恩原则，建立磨削机床的几何误差与晶圆面形的影响矩阵，所述几何误差包括位置相关误差和位置无关误差；S2.1建立位置相关误差元素与晶圆面形的影响矩阵：首先，确定运动轴存在的位置相关误差元素，定义运动轴测量点处位置相关误差矩阵，所述运动轴测量点为测量仪器安装位置点；其次，记录运动轴测量点与功能点位置之间的偏位，整理得到偏位矩阵，所述功能点为任意砂轮点；之后，将机床坐标系{OP}下建立的运动轴的位置相关误差与任意功能点实际位置的影响矩阵，转移至工件坐标系{Ow}下，则得到运动轴的位置相关误差与晶圆面形的影响矩阵；S2.2建立位置无关误差元素与晶圆面形的影响矩阵：首先，建立运动轴之间的位置无关误差矩阵；其次，在机床坐标系{OP}内，确定位置无关误差对任意功能点实际位置的影响矩阵；之后将位置无关误差对任意功能点实际位置的映射关系由机床坐标系{OP}移至工件坐标系{Ow}下，则得到运动轴的位置无关误差与晶圆面形的影响矩阵；S3.通过叠加各运动轴的位置相关误差元素、位置无关误差元素与晶圆面形的影响矩阵，得到叠加后各运动轴的几何误差对晶圆面形的影响矩阵，再与理想情况下的面形矩阵求和，则得到考虑几何误差影响的晶圆面形预测模型。
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百度查询： 大连理工大学 基于阿贝原则和布莱恩原则的晶圆面形预测模型建立方法
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