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申请/专利权人：无锡探微电子科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆清洗机的晶圆转向装置，包括：转向座，转向座上端固定设置有两个立柱，立柱设置有滑槽，滑槽内滑动设置有连接杆，两个连接杆之间固定设置有放置板，放置板用于放置晶圆本体，连接杆设置有两个凹槽和两个安装孔，安装孔内滑动设置有固定销，固定销与连接杆之间设置有弹簧，立柱设置有固定孔，固定孔与固定销位置相对应设置，两个固定销外侧分别固定设置有拉杆一和拉杆二，拉杆一转动设置有固定扣，拉杆二设置有限位钩。与现有技术相比本实用新型设置有连接杆、安装孔、固定销、弹簧、固定孔、拉杆一和拉杆二，对晶圆本体进行翻转时无需反复拆卸和安装螺栓，操作更方便。
主权项：1.一种用于晶圆清洗机的晶圆转向装置，其特征在于，包括转向座1，所述转向座1上端固定设置有两个立柱2，所述立柱2设置有滑槽3，所述滑槽3内滑动设置有连接杆4，两个所述连接杆4之间固定设置有放置板5，所述放置板5用于放置晶圆本体6，所述连接杆4设置有两个凹槽7和两个安装孔8，所述安装孔8内滑动设置有固定销9，所述固定销9与所述连接杆4之间设置有弹簧10，所述立柱2设置有固定孔11，所述固定孔11与所述固定销9位置相对应设置，两个所述固定销9外侧分别固定设置有拉杆一12和拉杆二13，所述拉杆一12转动设置有固定扣14，所述拉杆二13设置有限位钩15。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡探微电子科技有限公司 一种用于晶圆清洗机的晶圆转向装置
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