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申请/专利权人：台湾中国探针股份有限公司
摘要：本实用新型提供一种具有钌镀层的导电耐磨探针，包含一探针头结构、一模块化元件及一弹性结构，该模块化元件内置该弹性结构，且该探针头结构组接于该模块化元件一端并嵌接该弹性结构。该探针头结构由一合金底材制成而于其一端设有复数个尖锐凸肋，各该尖锐凸肋分别具至少一斜切部而使各该尖锐凸肋间具有一夹角，且该探针头结构于该合金底材表面上由下至上依序设置一镍磷合金镀层、一金合金镀层、一钯合金镀层及一钌镀层。该钌镀层的硬度800～1000Hv，以利用该钯合金镀层形成该金合金镀层与该钌镀层间的稳定支撑而降低该钌镀层产生镀膜裂痕的机率。
主权项：1.一种具有钌镀层的导电耐磨探针，包含一探针头结构、一模块化元件及一弹性结构，该模块化元件内置该弹性结构，且该探针头结构组接于该模块化元件一端并嵌接该弹性结构，在操控该模块化元件检测一待测物时，该弹性结构减缓该待测物与该探针头结构间的施加力，其特征在于：该探针头结构由一合金底材制成且于一端设有复数个尖锐凸肋，该复数个尖锐凸肋分别具有至少一斜切部而使各该尖锐凸肋间具有一夹角，且该探针头结构在该合金底材表面上由下至上依序设置一镍磷合金镀层、一金合金镀层、一钯合金镀层及一钌镀层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾中国探针股份有限公司 具有钌镀层的导电耐磨探针
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