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申请/专利权人：陕西光控睿能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，具体是一种半导体激光退火预热装置，包括工作台；所述工作台的顶端固接有第一支架；所述第一支架的侧壁设置有预热装置；所述工作台的顶端固接有第二支架；所述第二支架的侧壁设置有退火装置；所述工作台的底端固接有伺服电机；所述伺服电机的输出端贯穿于所述工作台的表面；所述伺服电机的外侧设置有固定架；所述伺服电机的输出端固接有转盘；所述转盘的侧壁固接有多组支撑板；所述支撑板的侧壁固接有放置盘；通过设置的推板结构，此设计不仅操作简单方便，而且能够对不同形状尺寸的工件进行固定，从而能够减少工件出现滑动或者飞出等情况，提高了退火与预热效果。
主权项：1.一种半导体激光退火预热装置，包括工作台1；其特征在于：所述工作台1的顶端固接有第一支架10；所述第一支架10的侧壁设置有预热装置11；所述工作台1的顶端固接有第二支架12；所述第二支架12的侧壁设置有退火装置13；所述工作台1的底端固接有伺服电机15；所述伺服电机15的输出端贯穿于所述工作台1的表面；所述伺服电机15的外侧设置有固定架14；所述伺服电机15的输出端固接有转盘16；所述转盘16的侧壁固接有多组支撑板17；所述支撑板17的侧壁固接有放置盘18；所述放置盘18的内侧固接有多组第一伸缩杆19；所述第一伸缩杆19的中部套合连接有第一弹簧110；所述第一弹簧110的端部固接有推板111；所述推板111的侧壁转动设置有固定栓112。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 陕西光控睿能科技有限公司 一种半导体激光退火预热装置
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