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申请/专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种离子注入机用离子源坩埚结构，包括坩埚和用于加热坩埚的加热部件，所述坩埚连接有进气管和出气管，所述出气管延伸至离子源的弧室。一种离子注入机用离子源，包括高温区和弧室，还包括上述的离子注入机用离子源坩埚结构。本实用新型可以通过进气管向坩埚内部输送特定载气或反应气体，将高温固态或液态物质通过气体反应变为气态物质，通过出气管输送到离子源的弧室；或者通过载气携带，将低饱和蒸汽压气态物质，通过出气管带入到离子源的弧室；然后进一步电离得到难熔难蒸发固态元素的离子束流，可以提升样品使用寿命，减少固态污染物沉积，降低坩埚蒸发固态物质所需要的温度，提高离子源使用寿命和维护周期。
主权项：1.一种离子注入机用离子源坩埚结构，其特征在于：包括设于离子源的高温区11的坩埚2和用于加热坩埚2的加热部件3，所述坩埚2连接有进气管21和出气管22，所述出气管22延伸至离子源的弧室12。
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百度查询： 北京烁科中科信电子装备有限公司 一种离子注入机用离子源坩埚结构及离子源
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