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一种极紫外光敏材料产气检测装置 

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申请/专利权人:上海大学

摘要:本发明提供一种极紫外光敏材料产气检测装置,包括:样品腔,真空机组,可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪,真空规,控制阀,进光法兰口和物料门,其中,所述可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪、真空规、控制阀、进光法兰口、物料门分别与样品腔连接,所述控制阀,设置于样品腔与真空机组之间,用于切换样品腔和真空机组之间连通或隔离。本发明检测装置结构简单、成本低廉,适用于真空环境实时监测。

主权项:1.一种极紫外光敏材料产气检测装置,包括:样品腔,真空机组,可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪,真空规,控制阀,进光法兰口和物料门,其中,所述可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪、真空规、控制阀、进光法兰口、物料门分别与样品腔连接,所述控制阀,设置于样品腔与真空机组之间,用于切换样品腔和真空机组之间连通或隔离。

全文数据:

权利要求:

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