买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:上海大学
摘要:本发明提供一种极紫外光敏材料产气检测装置,包括:样品腔,真空机组,可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪,真空规,控制阀,进光法兰口和物料门,其中,所述可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪、真空规、控制阀、进光法兰口、物料门分别与样品腔连接,所述控制阀,设置于样品腔与真空机组之间,用于切换样品腔和真空机组之间连通或隔离。本发明检测装置结构简单、成本低廉,适用于真空环境实时监测。
主权项:1.一种极紫外光敏材料产气检测装置,包括:样品腔,真空机组,可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪,真空规,控制阀,进光法兰口和物料门,其中,所述可调谐二极管激光吸收光谱气体分析仪、真空规、控制阀、进光法兰口、物料门分别与样品腔连接,所述控制阀,设置于样品腔与真空机组之间,用于切换样品腔和真空机组之间连通或隔离。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海大学 一种极紫外光敏材料产气检测装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。