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申请/专利权人：深圳市弘测精密科技有限公司
摘要：本发明涉及微机电系统测试技术领域，具体涉及一种微机电垂直式探针卡的检测系统及检测方法，包括探针卡模块、电变量测量模块、磁变量测量模块、高频响应模块、数据处理模块以及控制模块；其中，探针卡模块：配置有多组垂直排列的微探针；电变量测量模块：用于测量和分析从探针卡模块传来的电参数变化数据；磁变量测量模块：用于测量和调整微机电元件在磁场中的响应变化；高频响应模块：用于捕捉在高频电信号激励下的动态响应；数据处理模块：提取微机电元件的综合性能指标。本发明，实现了电参数、磁响应和高频动态响应的全面测量和分析，并通过优化控制确保系统在最佳状态下运行，从而提高了测试的准确性、全面性和效率。
主权项：1.一种微机电垂直式探针卡的检测系统，其特征在于，包括探针卡模块、电变量测量模块、磁变量测量模块、高频响应模块、数据处理模块以及控制模块；其中，探针卡模块：配置有多组垂直排列的微探针，每组微探针由多层导电材料和绝缘材料交替构成，以适应不同的电压和电流测试需求；电变量测量模块：连接至探针卡模块，用于测量和分析从探针卡模块传来的电参数变化数据，包括电阻、电容、电感和电位差；磁变量测量模块：连接至探针卡模块，用于测量和调整微机电元件在磁场中的响应变化，包括磁场强度的调节功能；高频响应模块：与探针卡模块电连接，接收从磁变量测量模块调整后的磁场数据，用于捕捉和分析微机电元件在高频电信号激励下的动态响应；数据处理模块：与电变量测量模块、磁变量测量模块及高频响应模块电连接，综合接收各模块的数据，通过预设算法进行数据融合与分析，以提取微机电元件的综合性能指标，并根据该数据优化测试参数；控制模块：与数据处理模块连接，根据数据处理模块提供的优化测试参数，自动调整探针卡模块的操作，以及电变量和磁变量测量模块的设置，确保整个系统在最佳状态下运行。
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百度查询： 深圳市弘测精密科技有限公司 一种微机电垂直式探针卡的检测系统及检测方法
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