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申请/专利权人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要:本发明提供一种安全快门及光刻机。其中,所述安全快门包括:盖板、叶片、传动轴和驱动组件;盖板具有一通光孔,驱动组件设置于盖板上,且位于通光孔的侧边;传动轴分别与驱动组件和叶片相接,用于在驱动组件运动时带动叶片转动,以使叶片关闭或打开通光孔;其中,所述传动轴具有联轴部和连接部;所述联轴部与所述连接部相接,所述连接部沿传动轴的径向延伸,且与叶片相接,以支撑叶片。可见,本发明利用传动轴上的联轴部来吸收旋转体间发生的偏心、偏角、振动振幅等轴心偏差,以提升安全快门的运动可靠性,防止卡死或运动不流畅。以及,利用传动轴上的连接部增加对叶片的支撑力,从而减小叶片的偏载力矩,提高运动流畅性。
主权项:1.一种安全快门,其特征在于,包括:盖板、叶片、传动轴和驱动组件;所述盖板具有一通光孔,所述驱动组件设置于所述盖板上,且位于所述通光孔的侧边;所述传动轴分别与所述驱动组件和所述叶片相接,用于在所述驱动组件运动时带动所述叶片转动,使得所述叶片关闭或打开所述通光孔;其中,所述传动轴具有联轴部和连接部;所述联轴部与所述连接部相接,所述连接部沿所述传动轴的径向延伸,且与所述叶片相接,以支撑所述叶片。
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百度查询: 上海微电子装备(集团)股份有限公司 安全快门及光刻机
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