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申请/专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
摘要：本发明公开了一种光栅耦合器及其制造方法，光栅耦合器包括设于衬底上的光栅结构和光波导结构，还包括：设于所述衬底上的第一光反射结构，所述第一光反射结构位于所述光栅结构远离所述光波导结构的一侧，用于通过反射，使在所述光栅结构中衍射后背向所述光波导结构传播的光的方向逆转，并使之朝向所述光波导结构传播。本发明能有效解决现有光栅耦合器技术未能降低衍射后向反方向传播的光功率损耗的问题，最终能使得耦合入光波导结构的总光功率得到显著增大，并由此提高光栅耦合器的整体耦合效率。
主权项：1.一种光栅耦合器，包括设于衬底上的光栅结构和光波导结构，其特征在于，还包括：设于所述衬底上的第一光反射结构，所述第一光反射结构位于所述光栅结构远离所述光波导结构的一侧，使在所述光栅结构中衍射后背向所述光波导结构传播的光的方向逆转，并使之朝向所述光波导结构传播。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海集成电路研发中心有限公司 一种光栅耦合器及其制造方法
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