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申请/专利权人：光粒(松阳)科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种全息光栅的曝光系统，包括：用于输出激光光束的激光器；依次设置在激光器的输出光路上，用于对激光光束的光强大小进行调制的光调制组件、扩束组件以及用于对激光光束进行分光并至少形成第一光束和第二光束的分光组件；用于对第一光束进行反射的第一反射元件；设置在第一反射元件反射输出第一光束的光路，与分光元件输出的第二光束的光路的交叉位置上的全息干板，以通过第一光束和第二光束对全息干板进行曝光。本申请中采用先对激光光束进行调制以及扩束之后，再进行分光，无需对两路光束进行分别调制和扩束后再入射至全息干板，简化光路结构，减小光学曝光系统的搭建成本和空间体积，增强曝光系统的抗干扰能力。
主权项：1.一种全息光栅的曝光系统，其特征在于，包括：用于输出激光光束的激光器；设置在所述激光器的输出光路上，用于对所述激光光束的光强大小进行调制的光调制组件；设置在所述光调制组件的输出光路上的扩束组件；设置在所述扩束组件的输出光路上，用于对所述激光光束进行分光并至少形成第一光束和第二光束的分光组件；设置在所述分光组件输出的所述第一光束的光路上，用于对所述第一光束进行反射的第一反射元件；设置在所述第一反射元件反射输出所述第一光束的光路，与所述分光元件输出的所述第二光束的光路的交叉位置上的全息干板，以通过所述第一光束和所述第二光束对所述全息干板进行曝光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光粒(松阳)科技有限公司 一种全息光栅的曝光系统
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