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申请/专利权人：河北中瓷电子科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种测定气氛烧结炉内气氛一致性的方法，该测定气氛烧结炉内气氛一致性的方法包括：获取多个标准样块，将标准样块分别置于气氛烧结炉内的不同烧结位上，并根据烧结位对每一标准样块编号；其中，标准样块由耐高温粉体和挥发性物质通过干压、流延工艺制备而成；升温气氛烧结炉至预设工作温度、并调节炉内气氛至工作状态，对标准样块进行烧结，达到第一预设时间后，停止烧结、取出标准样块；对编号的标准样块进行折射率测试、能谱分析测试、失重量测试和或碳含量测试；根据测试结果判断气氛烧结炉内的气氛一致性。本发明能够实现评估气氛烧结炉内不同位置的气流一致性，为调节气氛烧结炉内不同位置气流一致性提供了依据。
主权项：1.一种测定气氛烧结炉内气氛一致性的方法，其特征在于，包括：获取多个标准样块，将所述标准样块分别置于气氛烧结炉内的不同烧结位上，并根据所述烧结位对每一标准样块编号；其中，所述标准样块由无机耐高温粉体和挥发性物质通过干压、流延工艺制备而成，所述无机耐高温粉体为氮化铝粉、碳化硅粉或氮化硅粉中的一种或多种；升温所述气氛烧结炉至预设工作温度、并调节炉内气氛至工作状态，对所述标准样块进行烧结，达到第一预设时间后，停止烧结、取出所述标准样块；对编号的所述标准样块进行折射率测试、能谱分析测试、失重量测试和碳含量测试；根据测试结果判断所述气氛烧结炉内的气氛一致性；其中，所述对编号的所述标准样块进行折射率测试、能谱分析测试、失重量测试和碳含量测试，根据测试结果判断所述气氛烧结炉内的气氛一致性，包括：获取烧结后的标准样块，分别进行折射率测试、能谱分析测试、失重量测试和碳含量测试；根据所述标准样块的编号，分别获得与编号对应的系列折射率数据、杂质数据、失重数据和含碳量数据；根据系列折射率数据、杂质数据、失重数据和含碳量数据的平行性判断所述气氛烧结炉内的气氛一致性，具体包括：选取系列折射率数据、杂质数据、失重数据和含碳量数据作为用于评价气氛一致性的参数指标；根据所述烧结位的系列数据与相应系列数据的理论参数的差值，确定所述烧结位是否需要进行调整。
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